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Polymer-based gas sensor on a thermally stable micro-cantilever.

Emadi, T.A., Shafai, C., Thomson, D.J., Freund, M.S., Jayas, D.S., et White, N.D.G. (2010). « Polymer-based gas sensor on a thermally stable micro-cantilever. », Procedia Engineering, 5, p. 21-24. doi : 10.1016/j.proeng.2010.09.038  Accès au texte intégral (en anglais seulement)

Résumé

Les capteurs basés sur des polymères présentent plusieurs avantages pour la détection des gaz. Ils peuvent fonctionner avec différents composites polymères en couche mince comme matière de détection et peuvent donc répondre à une large gamme de composés volatils. Toutefois, on a montré que ces capteurs basés sur des polymères sont très sensibles à la température, ce qui provoque une dérive de leur réponse. Pour surmonter cet inconvénient, nous proposons une nouvelle conception d’électrodes interdigitées sur une microplaque chauffée. Un tel détecteur fonctionne grâce à une structure de capteur micro-usiné sur une plaquette de silicium qui maintient la température constante dans tout le dispositif. Nous avons étudié différentes structures de capteur micro-usiné et différents substrats en tant que candidat pour des systèmes à température constante. Nous avons réalisé des simulations COMSOL afin d’étudier le profil de transfert de chaleur. Nous avons optimisé la structure et les dimensions du capteur, ainsi que la structure du dispositif de chauffage, en nous basant sur les résultats des simulations.

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